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MEMS压力传感器采用集成电路的工艺

现在市面上的可穿戴设备越来越多,对于可穿戴设备,尤其是手腕式的可穿戴设备的竞争日益激烈。对于可穿戴设备的研究核心在于可穿戴传感器的研究。可穿戴设备的功能日趋强大与其内部使用的可穿戴传感器数量的增加和性能提高息息相关。本文基于MEMS压力传感器技术,目的在于设计出一套可以用于运动轨迹检测的可穿戴设备。

利用现有的蓝牙4.0 技术,将六轴传感器收集到的数据实时传送到上位机,通过MATLAB 等仿真软件以及合理的数据处理,得到最接近现实的运动轨迹。可穿戴运动监测系统是可穿戴计算在体育领域的典型应用,可穿戴运动监测系统旨在不妨碍用户运动的前提下,为用户提供连续、准确的运动监测功能。国内外学者已在该研究领域做了大量的工作,研制出许多相关的设备和应用。然而这些设备或者应用不是体育专家,并不能真正根据这些信息给出准确的建议,只能根据这些信息给出大致运动评估。另一方面,由于缺乏大规模的数据处理能力、多维度的数据分析能力,以及深入的数据挖掘能力,即便收集的数据里蕴含大量有用信息,甚至包括可以直接用于分析运动的数据,基于数据处理挖掘能力问题,也会被海量数据淹没。

可穿戴运动监测系统建立于仿真运动轨迹的惯性技术的基础上,主要通过运动传感器实现。本系统主要采用了俩种运动传感器:三轴加速度传感器和三轴陀螺仪传感器。加速度传感器用来测量运动物体的加速度,作为计算速度和位移的原始数据。陀螺仪用来测量于东物体的角速度,以此确定三维空间中运动物体的加速度传感器的参考坐标系,有利于位移轨迹的计算。加速度是表征物体在空间运动本质的一个基本物理量,可以通过测量加速度来测量物体的运动状态。

传感器基座与被测运动体相固联,因而随运动物体一起相对于惯性空间的某一参考点作相对运动。由于检测质量块不与传感器基座固联,因而在惯性力作用下将与仪表机壳产生相对位移。检测质量块感受加速度并产生于加速度成比例的惯性力,从而使弹簧产生与质量块相对位移相等的伸缩变形,弹簧变形又产生与变形量成比例的反作用力。当惯性力与弹簧反作用力相平衡时,检测质量块相对于基座的位移与加速度成正比,故可通过该位移或惯性力来测量加速度。

陀螺仪(gyroscope) 的原理就是一个旋转物体的旋转轴所指方向在不受外力是不会改变的。就像一个陀螺在高速旋转的时候是不会倒下。但是陀螺仪工作的实收是必须要给它一个力,使它快速旋转起来,旋转速率一般要达到几十万转,这样就能工作很长时间。采用多种方法读取轴的信息,并将信号传给控制系统前,进而进行分析和处理。

MEMS惯性传感器采用集成电路的工艺,以其独特的加工工艺区别于其他惯性传感器。优点在于可靠性高、制造成本低廉、并且寿命更长。同时还具有重量轻、易集成、耗电量低、体积小、能大批量生产的特点。MEMS 传感器在同一个芯片上进行信号传输前可放大信号,提高信号水平,减小干扰和传输噪声。特别是同一芯片上进行A/D 转换时,更能改善信噪比。


来源:本站   编辑:普通管理员
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